方法是氣體放電，放電方法有：輝光、電暈、電弧、介質阻擋放電。其中輝光放電、電弧放電屬于低氣壓放電，如果是面對大規模的工業生產，低氣壓放電就不能作為等離子體產生的有效方法，主要存在著兩大缺點：1、放電過程前提是在低氣壓下進行，而且環境要求真空，因此整個系統會比較復雜、成本也高。2、工作過程無法做到在線連續生產，效率很難提高，不能滿足連續生產的工作環境需求。大多數的工業生產都是在常壓下進行的，因此大氣壓下氣體的放電研究具有了更重要的意義和價值�；」夥烹姷入x子體的活性粒子具有較高的溫度，容易導致樣品損壞，電暈放電放電強度較弱且不均勻，使得產生等離子體及活性粒子效率低，所以在等離子體表面處理中不是很適用[5]。介質阻擋放電是具有電暈放電能在高氣壓下產生的優點，因此是在大氣壓條件下獲得低溫等離子體的一種有效手段。它能夠在大氣壓下產生大面積的低溫等離子體

www.suoguanjixie.name，多參數控制-電動折彎機液壓滾圓機滾弧機價格低全自動滾圓機滾弧機多少錢因此在材料的表面處理、臭氧生成、環境保護方面得到了廣泛的應用。低溫等離子體的產生分類如圖等離子體是物質的第四態,其應用前景非常廣泛,目前,研究較多的是在大氣壓下利用介質阻擋放電產生等離子體。介質阻擋放電的產生需要高壓交流電源供電,而放電效果與電源的電壓、頻率和波形有關。相對來說,電壓和頻率越高,放電效果越好,同時負載的諧振頻率對電源的運行效率也有一定的影響。根據這兩個特點,結合介質阻擋放電的負載特性,研制出一種電壓可調,頻率可自動跟蹤放電頻率的電源,使得電源運行時的有功功率達到最大。本論文重點研究介質阻擋放電(DBD)電源的多參數控制方法,使得DBD電源參數始終處于最優控制狀態。論文主要包括以下幾個方面:(1)電源逆變電路拓撲結構設計。根據介質阻擋放電發生器容性負載的特性,利用補償電感的方法構成諧振電路。通過對串并聯諧振電路的分析和比較,最終選擇串聯諧振電路作為介質阻擋放電的主電路結構。(2)控制電路的設計。根據所選擇的串聯諧振主電路結構,采用了PWM脈寬調制控制方式,實現輸出電壓的可調�？紤]到負載諧振頻率會因外界而改變,設計了基于鎖相環CD4046的頻率跟蹤電路,提高整個電源的效率。(3)電源電路設計。電源系統主要包括:輸入整流濾波電路、逆變電路、控制電路、驅動電路、頻率跟蹤電路、保護電路、輔助電源等。(4)電源結果分析。對實際電路進行實驗,驗證輸出電壓的可調和頻率自動跟蹤可以實現。并將電源應用于介質阻擋放電發生器,采集重要節點的波形,驗證負載對頻率的影響多參數控制-電動折彎機液壓滾圓機滾弧機價格低全自動滾圓機滾弧機多少錢 www.suoguanjixie.name